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    1. 半導體設備

      BUPERMANN:用于半導體設備的行星減速機

      半導體加工領域,實踐證明半導體生產設備對螺旋傘齒輪精密伺服減速器要求非??量?。

      追求高強度、高精度、直角轉向、高負載能力和剛性。

      BUPERMANN通過與客戶緊密合作,我們的產品得到了持續的改進。

      BUPERMANN90度直角伺服減速器在半導體行業領域的應用優勢,能夠按照具體需求提供標準產品,進行個性化配置,運行可靠、精確的解決方案。

      半導體設備應用需求

      半導體設備高精度定位、高減速比、90度換向等應用,要求螺旋傘齒輪減速機擁有高減速比的情況且精度高。

      我們有適用于半導體設備的減速機:

      BPGV系列AGV專用減速器

      • 減速比

        15-100

      • 額定扭矩

        45-330 Nm

      • 回程間隙

        3-8 arcmin

      • 輸入轉數

        3000-6000 rpm

      • 徑向力

        2250-5500 N

      結構尺寸

      BPT系列伺服轉向器

      • 減速比

        1-5

      • 額定扭矩

        12-3200 Nm

      • 回程間隙

        6 arcmin

      • 輸入轉數

        1700-7500 rpm

      • 徑向力

        900-18000 N

      結構尺寸

      BPTA系列伺服轉向器

      • 減速比

        1

      • 額定扭矩

        20-900 Nm

      • 回程間隙

        10 arcmin

      • 輸入轉數

        1000-2000 rpm

      • 徑向力

        1100-19500 N

      結構尺寸

      BPTS系列高精密伺服轉向器

      • 減速比

        2-5

      • 額定扭矩

        9.5-1200 Nm

      • 回程間隙

        6 arcmin

      • 輸入轉數

        1000-2000 rpm

      • 徑向力

        1100-24100 N

      結構尺寸

      BPTAW系列直角行星減速器

      • 減速比

        3-100

      • 額定扭矩

        13-1200 Nm

      • 回程間隙

        3-10 arcmin

      • 輸入轉數

        2000-3000 rpm

      • 徑向力

        1100-19500 N

      結構尺寸

      BPTSM系列高精密伺服直角減速機

      • 減速比

        2-10

      • 額定扭矩

        9.5-2150 Nm

      • 回程間隙

        4-6 arcmin

      • 輸入轉數

        2000 rpm

      • 徑向力

        1100-45000 N

      結構尺寸

      BPTSW系列高精密伺服直角減速器

      • 減速比

        6-300

      • 額定扭矩

        9.5-2150 Nm

      • 回程間隙

        3-10 arcmin

      • 輸入轉數

        2000-4500 rpm

      • 徑向力

        1100-45000 N

      結構尺寸

      BPHN系列中空旋轉平臺

      • 減速比

        10-180

      • 額定扭矩

        5-650 Nm

      • 回程間隙

        ≤1 arcmin arcmin

      • 輸入轉數

        ≤20 arcsec rpm

      • 徑向力

        30-800 Kg N

      結構尺寸

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